सिलिकन कार्बाइड कोटिंगको साथ ग्रेफाइट ससेप्टर, 8 इन्च वेफर क्यारियर

CVD-SiC कोटिंगएकसमान संरचना, कम्प्याक्ट सामग्री, उच्च तापक्रम प्रतिरोध, अक्सीकरण प्रतिरोध, उच्च शुद्धता, एसिड र क्षार प्रतिरोध र जैविक अभिकर्मक, स्थिर भौतिक र रासायनिक गुणहरूको विशेषताहरू छन्।
 
उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट सामग्रीको तुलनामा, ग्रेफाइटले 400C मा अक्सिडाइज गर्न थाल्छ, जसले अक्सीकरणको कारण पाउडरको क्षति निम्त्याउँछ, परिधीय उपकरणहरू र भ्याकुम चेम्बरहरूमा वातावरणीय प्रदूषणको कारण, र उच्च-शुद्धता वातावरणको अशुद्धता बढाउँछ।
तर,SiC कोटिंग1600 डिग्री मा भौतिक र रासायनिक स्थिरता कायम राख्न सक्छ, यो व्यापक रूपमा आधुनिक उद्योग, विशेष गरी अर्धचालक उद्योग मा प्रयोग गरिन्छ।