SiC लेपितग्रेफाइट हाफमून भागसेमीकन्डक्टर निर्माण प्रक्रियाहरूमा प्रयोग हुने मुख्य कम्पोनेन्ट हो, विशेष गरी SiC epitaxial उपकरणहरूको लागि।हामी हाम्रो प्याटेन्टेड टेक्नोलोजीको प्रयोग गरी हाफमूनको भागलाई अत्यन्त उच्च शुद्धता, राम्रो कोटिंग एकरूपता र उत्कृष्ट सेवा जीवन, साथै उच्च रासायनिक प्रतिरोध र थर्मल स्थिरता गुणहरू प्रयोग गर्छौं।
