सेमिसेराले उच्च गुणस्तरको अनुकूलन प्रस्तुत गर्दछसिलिकन कार्बाइड cantilever paddlesअर्धचालक निर्माण प्रक्रियाहरू माथि उठाउनको लागि बनाइएको। अभिनवSiC प्याडलडिजाइनले असाधारण स्थायित्व र उच्च थर्मल प्रतिरोध सुनिश्चित गर्दछ, यसलाई चुनौतीपूर्ण उच्च-तापमान वातावरणमा वेफर ह्यान्डलिङको लागि एक आवश्यक घटक बनाउँछ।
दसिलिकन कार्बाइड प्याडलअर्धचालक उत्पादनको महत्वपूर्ण चरणहरूमा भरपर्दो वेफर यातायात सुनिश्चित गर्दै संरचनात्मक अखण्डता कायम राख्दै चरम थर्मल चक्रहरू सामना गर्न निर्माण गरिएको छ। उच्च यांत्रिक शक्ति संग, योवेफर डुङ्गावेफर्समा हुने क्षतिको जोखिमलाई कम गर्छ, जसले गर्दा उच्च उत्पादन र लगातार उत्पादन गुणस्तर हुन्छ।
सेमिसेराको SiC प्याडलमा प्रमुख आविष्कारहरू मध्ये एक यसको अनुकूलन डिजाइन विकल्पहरूमा निहित छ। विशिष्ट उत्पादन आवश्यकताहरू पूरा गर्नको लागि तयार गरिएको, प्याडलले विभिन्न उपकरण सेटअपहरूसँग एकीकरणमा लचिलोपन प्रदान गर्दछ, यसलाई आधुनिक निर्माण प्रक्रियाहरूको लागि एक आदर्श समाधान बनाउँछ। हल्का तौल अझै बलियो निर्माणले सजिलो ह्यान्डलिङलाई सक्षम बनाउँछ र अर्धचालक उत्पादनमा सुधारिएको दक्षतामा योगदान गर्दै परिचालन डाउनटाइम घटाउँछ।
यसको थर्मल र मेकानिकल गुणहरूको अतिरिक्त,सिलिकन कार्बाइड प्याडलउत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध प्रदान गर्दछ, यसले कठोर रासायनिक वातावरणमा पनि विश्वसनीय रूपमा प्रदर्शन गर्न अनुमति दिन्छ। यसले नक्कली, निक्षेप, र उच्च-तापमान उपचार समावेश गर्ने प्रक्रियाहरूमा प्रयोगको लागि विशेष रूपमा उपयुक्त बनाउँछ, जहाँ उच्च-गुणस्तरको आउटपुटहरू सुनिश्चित गर्न वेफर डुङ्गाको अखण्डता कायम राख्न महत्त्वपूर्ण छ।
| रिक्रिस्टलाइज्ड सिलिकन कार्बाइडको भौतिक गुणहरू | |
| सम्पत्ति | सामान्य मान |
| काम गर्ने तापमान (°C) | 1600°C (अक्सिजन सहित), 1700°C (वातावरण घटाउने) |
| SiC सामग्री | > 99.96% |
| नि: शुल्क Si सामग्री | < ०.१% |
| बल्क घनत्व | 2.60-2.70 ग्राम/सेमी3 |
| स्पष्ट porosity | <16% |
| कम्प्रेसन बल | > 600 MPa |
| चिसो झुकाउने शक्ति | 80-90 MPa (20°C) |
| तातो झुकाउने शक्ति | 90-100 MPa (1400°C) |
| थर्मल विस्तार @1500°C | ४.७० १०-6/°C |
| थर्मल चालकता @1200°C | २३ W/m•K |
| लोचदार मोड्युलस | 240 GPa |
| थर्मल झटका प्रतिरोध | अति राम्रो |
