राम्रो स्थिरता उच्च तापमान प्रतिरोधी सिलिकन कार्बाइड फर्नेस ट्यूब

सिलिकन कार्बाइड फर्नेस ट्यूबमुख्य रूपमा यसको लागि प्रयोग गरिन्छ: 4-6 इन्च सिलिकन वेफर LTO = सिलिका, SIPOS = अक्सी-पोलिसिलिकन, SI3N4 = सिलिकन नाइट्राइड, PSG = फास्फोसिलिकन ग्लास, POLY = polysilicon फिल्म वृद्धि।यो कच्चा माल ग्याँस (वा तरल स्रोत ग्यासीकरण) थर्मल ऊर्जा द्वारा सक्रिय सब्सट्रेट को सतह मा एक ठोस फिल्म उत्पन्न गर्न को लागी हो।कम दबाबमा रासायनिक वाष्प निक्षेप कम दबावमा गरिन्छ, कम दबावको कारण, ग्यास अणुहरूको औसत मुक्त मार्ग ठूलो हुन्छ, जसले गर्दा बढेको फिल्मको एकरूपता राम्रो हुन्छ, र सब्सट्रेट ठाडो रूपमा राख्न सकिन्छ र यसको मात्रा। लोडिङ ठूलो छ, विशेष गरी ठूलो मात्रामा एकीकृत सर्किटहरू, अलग उपकरणहरू, पावर इलेक्ट्रोनिक्स, अप्टोइलेक्ट्रोनिक उपकरणहरू र अप्टिकल फाइबर र औद्योगिक उत्पादन विशेष उपकरणहरूको अन्य उद्योगहरूको लागि उपयुक्त।