सेमिसेरासिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगअत्यधिक कडा र पहिरन-प्रतिरोधी सिलिकन कार्बाइड (SiC) सामग्रीबाट बनेको उच्च प्रदर्शन सुरक्षात्मक कोटिंग हो। कोटिंग सामान्यतया CVD वा PVD प्रक्रिया द्वारा सब्सट्रेटको सतहमा जम्मा गरिन्छसिलिकन कार्बाइड कणहरू, उत्कृष्ट रासायनिक जंग प्रतिरोध र उच्च तापमान स्थिरता प्रदान। तसर्थ, सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग व्यापक रूपमा सेमीकन्डक्टर निर्माण उपकरणको प्रमुख घटकहरूमा प्रयोग गरिन्छ।
अर्धचालक निर्माण मा,SiC कोटिंग1600 डिग्री सेल्सियस सम्मको अत्यधिक उच्च तापमानको सामना गर्न सक्छ, त्यसैले सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग अक्सर उच्च तापमान वा संक्षारक वातावरणमा क्षति रोक्न उपकरण वा उपकरणहरूको लागि सुरक्षात्मक तहको रूपमा प्रयोग गरिन्छ।
एकै समयमा,सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगएसिड, क्षार, अक्साइड र अन्य रासायनिक अभिकर्मकहरूको क्षरण प्रतिरोध गर्न सक्छ, र विभिन्न रासायनिक पदार्थहरूको लागि उच्च जंग प्रतिरोध छ। त्यसैले, यो उत्पादन अर्धचालक उद्योग मा विभिन्न संक्षारक वातावरण लागि उपयुक्त छ।
यसबाहेक, अन्य सिरेमिक सामग्रीको तुलनामा, SiC उच्च थर्मल चालकता छ र प्रभावकारी रूपमा गर्मी सञ्चालन गर्न सक्छ। यो सुविधाले निर्धारित गर्दछ कि सेमिकन्डक्टर प्रक्रियाहरूमा सटीक तापक्रम नियन्त्रण आवश्यक हुन्छ, उच्च थर्मल चालकतासिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगगर्मीलाई समान रूपमा फैलाउन, स्थानीय अत्यधिक तातो हुनबाट रोक्न, र उपकरण इष्टतम तापक्रममा सञ्चालन हुन्छ भनी सुनिश्चित गर्न मद्दत गर्दछ।
| CVD sic कोटिंग को आधारभूत भौतिक गुण | |
| सम्पत्ति | सामान्य मान |
| क्रिस्टल संरचना | FCC β चरण polycrystalline, मुख्यतया (111) उन्मुख |
| घनत्व | ३.२१ ग्राम/सेमी³ |
| कठोरता | 2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड) |
| अनाज साइज | 2~10μm |
| रासायनिक शुद्धता | ९९.९९९९५% |
| गर्मी क्षमता | 640 J·kg-1· के-1 |
| उदात्तीकरण तापमान | 2700 ℃ |
| फ्लेक्सरल शक्ति | 415 MPa RT 4-बिन्दु |
| युवाको मोडुलस | 430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃ |
| थर्मल चालकता | 300W·m-1· के-1 |
| थर्मल विस्तार (CTE) | ४.५ × १०-6K-1 |
