RTPCVD SiC घण्टीहरूउच्च तापमान र संक्षारक वातावरणमा औद्योगिक र वैज्ञानिक क्षेत्रहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। यसले अर्धचालक निर्माण, अप्टोइलेक्ट्रोनिक्स, सटीक मेसिनरी र रासायनिक उद्योगमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। विशिष्ट अनुप्रयोगहरू समावेश छन्:
1. अर्धचालक निर्माण:RTP CVD SiC घण्टीहरूसेमीकन्डक्टर उपकरणको ताप र शीतलनको लागि प्रयोग गर्न सकिन्छ, स्थिर तापमान नियन्त्रण प्रदान गर्न र प्रक्रियाको शुद्धता र स्थिरता सुनिश्चित गर्न।
2. Optoelectronics: यसको उत्कृष्ट थर्मल चालकता र उच्च तापमान प्रतिरोधको कारण, RTPCVD SiC घण्टीहरूलेजरहरू, फाइबर अप्टिक सञ्चार उपकरण र अप्टिकल घटकहरूको लागि समर्थन र गर्मी अपव्यय सामग्रीको रूपमा प्रयोग गर्न सकिन्छ।
3. सटीक मेसिनरी: RTP CVD SiC घण्टीहरू उच्च तापक्रम र संक्षारक वातावरणमा सटीक उपकरणहरू र उपकरणहरूको लागि प्रयोग गर्न सकिन्छ, जस्तै उच्च तापक्रम भट्टीहरू, भ्याकुम उपकरणहरू र रासायनिक रिएक्टरहरू।
4. रासायनिक उद्योग: यसको जंग प्रतिरोध र रासायनिक स्थिरताको कारणले, RTP CVD SiC रिंगहरू कन्टेनर, पाइप र रिएक्टरहरूमा रासायनिक प्रतिक्रियाहरू र उत्प्रेरक प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गर्न सकिन्छ।
Epi प्रणाली
RTP प्रणाली
CVD प्रणाली
उत्पादन प्रदर्शन:
1. 28nm तलको प्रक्रिया पूरा गर्नुहोस्
2. सुपर जंग प्रतिरोध
3. सुपर सफा प्रदर्शन
4. सुपर कठोरता
5. उच्च घनत्व
6. उच्च तापमान प्रतिरोध
7. प्रतिरोध लगाउने
उत्पादन आवेदन:
सिलिकन कार्बाइड सामग्रीहरूमा उच्च कठोरता, पहिरन प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध र उच्च तापमान स्थिरताको विशेषताहरू छन्। उत्कृष्ट व्यापक प्रदर्शनका साथ उत्पादनहरू ड्राई एचिङ र TF/डिफ्यूजन प्रक्रियाहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।
उत्पादन प्रदर्शन:
1. 28nm तलको प्रक्रिया पूरा गर्नुहोस्
2. सुपर जंग प्रतिरोध
3. सुपर सफा प्रदर्शन
4. सुपर कठोरता
5. उच्च घनत्व
6. उच्च तापमान प्रतिरोध
7. प्रतिरोध लगाउने
समग्र प्रक्रिया विकास:
• ग्रेफाइट + SiC कोटिंग
• ठोस CVD SiC
• सिन्टर्ड SiC+CVD
• SicSintered SiC
बहु उत्पादन प्रकार विकास:
• घण्टी
• तालिका
• ससेप्टर
• नुहाउने टाउको
