वेफर ह्यान्डलिंग हातसेमीकन्डक्टर निर्माण प्रक्रियामा ह्यान्डल गर्न, स्थानान्तरण गर्न र स्थितिमा प्रयोग हुने मुख्य उपकरण होवेफर्स। यो सामान्यतया एक रोबोट हात, एक ग्रिपर र एक नियन्त्रण प्रणाली, सटीक चाल र स्थिति क्षमताहरु संग समावेश गर्दछ।वेफर ह्यान्डलिंग हतियारसेमीकन्डक्टर उत्पादनमा विभिन्न लिङ्कहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, प्रक्रिया चरणहरू जस्तै वेफर लोडिङ, सफाई, पातलो फिल्म डिपोजिसन, एचिंग, लिथोग्राफी र निरीक्षण। यसको शुद्धता, विश्वसनीयता र स्वचालन क्षमताहरू उत्पादन प्रक्रियाको गुणस्तर, दक्षता र स्थिरता सुनिश्चित गर्न आवश्यक छ।
वेफर ह्यान्डलिंग हातको मुख्य कार्यहरू समावेश छन्:
1. वेफर स्थानान्तरण: वेफर ह्यान्डलिंग हातले वेफरहरूलाई एक स्थानबाट अर्को स्थानमा सही रूपमा स्थानान्तरण गर्न सक्षम छ, जस्तै भण्डारण र्याकबाट वेफरहरू लिने र तिनीहरूलाई प्रशोधन उपकरणमा राख्ने।
2. स्थिति र अभिमुखीकरण: वेफर ह्यान्डलिङ हातले सही पङ्क्तिबद्धता र पछिको प्रशोधन वा मापन कार्यहरूको लागि स्थिति सुनिश्चित गर्न वेफरलाई सही स्थिति र अभिमुखीकरण गर्न सक्षम छ।
3. क्ल्याम्पिङ र रिलिजिङ: वेफर ह्यान्डलिंग हतियारहरू सामान्यतया ग्रिपर्सहरूसँग सुसज्जित हुन्छन् जसले वेफरहरूलाई सुरक्षित रूपमा क्ल्याम्प गर्न र वेफरहरूको सुरक्षित स्थानान्तरण र ह्यान्डलिङ सुनिश्चित गर्न आवश्यक पर्दा छोड्न सक्छ।
4. स्वचालित नियन्त्रण: वेफर ह्यान्डलिंग हात एक उन्नत नियन्त्रण प्रणाली संग सुसज्जित छ जसले स्वचालित रूपमा पूर्वनिर्धारित कार्य अनुक्रमहरू कार्यान्वयन गर्न, उत्पादन दक्षता सुधार गर्न र मानव त्रुटिहरू कम गर्न सक्छ।
विशेषता र फाइदाहरू
1. सटीक आयाम र थर्मल स्थिरता।
2. उच्च विशिष्ट कठोरता र उत्कृष्ट थर्मल एकरूपता, लामो-समय प्रयोग विरूपण मोड्न सजिलो छैन।
3. यसमा चिल्लो सतह र राम्रो पहिरन प्रतिरोध छ, यसैले कण प्रदूषण बिना चिपलाई सुरक्षित रूपमा ह्यान्डल गर्न।
4. 106-108Ω मा सिलिकन कार्बाइड प्रतिरोधकता, गैर-चुम्बकीय, विरोधी ESD विशिष्टता आवश्यकताहरु संग लाइन मा; यसले चिपको सतहमा स्थिर बिजुली जम्मा हुनबाट रोक्न सक्छ।
5. राम्रो थर्मल चालकता, कम विस्तार गुणांक।