सेमिसेराले विभिन्न कम्पोनेन्टहरू र क्यारियरहरूको लागि विशेष ट्यान्टलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स प्रदान गर्दछ।सेमिसेरा अग्रणी कोटिंग प्रक्रियाले उच्च शुद्धता, उच्च तापक्रम स्थिरता र उच्च रासायनिक सहिष्णुता प्राप्त गर्न, SIC/GAN क्रिस्टल र EPI तहहरूको उत्पादन गुणस्तर सुधार गर्न ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स सक्षम गर्दछ।ग्रेफाइट लेपित TaC ससेप्टर), र प्रमुख रिएक्टर घटकहरूको जीवन विस्तार। ट्यान्टालम कार्बाइड टीएसी कोटिंगको प्रयोग किनारा समस्या समाधान गर्न र क्रिस्टल वृद्धिको गुणस्तर सुधार गर्न हो, र सेमिसेराले ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग टेक्नोलोजी (CVD) लाई अन्तर्राष्ट्रिय उन्नत स्तरमा पुग्न सफलता हासिल गरेको छ।
ट्यान्टलम कार्बाइड लेपित वेफर वाहकहरू अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाहरूमा वेफर प्रशोधन र ह्यान्डलिंग प्रक्रियाहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। तिनीहरूले निर्माण प्रक्रियाको क्रममा वेफर्सको सुरक्षा, शुद्धता र स्थिरता सुनिश्चित गर्न स्थिर समर्थन र सुरक्षा प्रदान गर्छन्। ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग्सले वाहकको सेवा जीवन विस्तार गर्न, लागत घटाउन, र अर्धचालक उत्पादनहरूको गुणस्तर र विश्वसनीयता सुधार गर्न सक्छ।
ट्यान्टालम कार्बाइड लेपित वेफर क्यारियरको विवरण निम्नानुसार छ:
1. सामग्री चयन: ट्यान्टलम कार्बाइड उत्कृष्ट प्रदर्शन, उच्च कठोरता, उच्च पिघलने बिन्दु, जंग प्रतिरोध र उत्कृष्ट यांत्रिक गुणहरू भएको सामग्री हो, त्यसैले यसलाई अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।
2. सतह कोटिंग: ट्यान्टालम कार्बाइड कोटिंग एक समान र बाक्लो ट्यान्टालम कार्बाइड कोटिंग बनाउन को लागी एक विशेष कोटिंग प्रक्रिया मार्फत वेफर वाहक को सतह मा लागू गरिन्छ। राम्रो थर्मल चालकता भएको बेला यो कोटिंगले थप सुरक्षा र पहिरन प्रतिरोध प्रदान गर्न सक्छ।
3. समतलता र परिशुद्धता: ट्यान्टलम कार्बाइड लेपित वेफर क्यारियरमा उच्च स्तरको समतलता र सटीकता छ, जसले निर्माण प्रक्रियाको क्रममा वेफरहरूको स्थिरता र शुद्धता सुनिश्चित गर्दछ। वेफरको गुणस्तर र कार्यसम्पादन सुनिश्चित गर्न क्यारियर सतहको समतलता र फिनिश महत्त्वपूर्ण छ।
4. तापमान स्थिरता: ट्यान्टलम कार्बाइड लेपित वेफर वाहकहरूले उच्च तापक्रमको वातावरणमा विरूपण वा ढिलो नगरी स्थिरता कायम राख्न सक्छ, उच्च तापमान प्रक्रियाहरूमा वेफरहरूको स्थिरता र स्थिरता सुनिश्चित गर्दछ।
5. जंग प्रतिरोध: ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग्समा उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध छ, रसायन र सॉल्भेन्ट्स को क्षरण प्रतिरोध गर्न सक्छ, र तरल र ग्याँस क्षय देखि वाहक जोगाउन सक्छ।
TaC संग र बिना
TaC प्रयोग गरेपछि (दायाँ)
यसबाहेक, सेमिसेराकोTaC लेपित उत्पादनहरूको तुलनामा एक लामो सेवा जीवन र अधिक उच्च-तापमान प्रतिरोध प्रदर्शनSiC कोटिंग्स.प्रयोगशाला मापनले देखाएको छ कि हाम्रोTaC कोटिंग्सविस्तारित अवधिको लागि 2300 डिग्री सेल्सियस सम्मको तापक्रममा लगातार प्रदर्शन गर्न सक्छ। तल हाम्रा नमूनाहरूको केही उदाहरणहरू छन्:
