सेमिसेराले विभिन्न कम्पोनेन्टहरू र क्यारियरहरूको लागि विशेष ट्यान्टलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स प्रदान गर्दछ।सेमिसेरा अग्रणी कोटिंग प्रक्रियाले उच्च शुद्धता, उच्च तापक्रम स्थिरता र उच्च रासायनिक सहिष्णुता प्राप्त गर्न, SIC/GAN क्रिस्टल र EPI तहहरूको उत्पादन गुणस्तर सुधार गर्न ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स सक्षम गर्दछ।ग्रेफाइट लेपित TaC ससेप्टर), र प्रमुख रिएक्टर घटकहरूको जीवन विस्तार। ट्यान्टालम कार्बाइड टीएसी कोटिंगको प्रयोग किनारा समस्या समाधान गर्न र क्रिस्टल वृद्धिको गुणस्तर सुधार गर्न हो, र सेमिसेराले ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग टेक्नोलोजी (CVD) लाई अन्तर्राष्ट्रिय उन्नत स्तरमा पुग्न सफलता हासिल गरेको छ।
8-इन्च सिलिकन कार्बाइड (SiC) वेफर्सको आगमनको साथ, विभिन्न अर्धचालक प्रक्रियाहरूका लागि आवश्यकताहरू बढ्दो रूपमा कडा भएका छन्, विशेष गरी एपिटाक्सी प्रक्रियाहरूको लागि जहाँ तापमान 2000 डिग्री सेल्सियस भन्दा बढी हुन सक्छ। परम्परागत ससेप्टर सामग्रीहरू, जस्तै सिलिकन कार्बाइडले ग्रेफाइट लेपित, यी उच्च तापक्रमहरूमा उदात्तीकरण गर्ने प्रवृत्ति हुन्छ, जसले एपिटेक्सी प्रक्रियालाई बाधा पुर्याउँछ। यद्यपि, CVD ट्यान्टलम कार्बाइड (TaC) ले यस समस्यालाई प्रभावकारी रूपमा सम्बोधन गर्छ, २३०० डिग्री सेल्सियससम्मको तापक्रम सहन र लामो सेवा जीवन प्रदान गर्दै। सेमिसेरालाई सम्पर्क गर्नुहोस्s ट्यान्टलम कार्बाइड TaC CVD कोटिंग वेफर ससेप्टरहाम्रो उन्नत समाधानहरूको बारेमा थप अन्वेषण गर्न।
TaC संग र बिना
TaC प्रयोग गरेपछि (दायाँ)
यसबाहेक, सेमिसेराकोTaC लेपित उत्पादनहरूको तुलनामा एक लामो सेवा जीवन र अधिक उच्च-तापमान प्रतिरोध प्रदर्शनSiC कोटिंग्स.प्रयोगशाला मापनले देखाएको छ कि हाम्रोTaC कोटिंग्सविस्तारित अवधिको लागि 2300 डिग्री सेल्सियस सम्मको तापक्रममा लगातार प्रदर्शन गर्न सक्छ। तल हाम्रा नमूनाहरूको केही उदाहरणहरू छन्:
