CVD TaC कोटिंग

CVD TaC कोटिंग को परिचय:

CVD TaC कोटिंग एक टेक्नोलोजी हो जसले सब्सट्रेटको सतहमा ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) कोटिंग जम्मा गर्न रासायनिक वाष्प निक्षेप प्रयोग गर्दछ। ट्यान्टलम कार्बाइड उत्कृष्ट मेकानिकल र रासायनिक गुणहरूको साथ उच्च प्रदर्शन सिरेमिक सामग्री हो। CVD प्रक्रियाले ग्यास प्रतिक्रिया मार्फत सब्सट्रेटको सतहमा एक समान TaC फिल्म उत्पन्न गर्दछ।

मुख्य विशेषताहरु:

उत्कृष्ट कठोरता र लुगा प्रतिरोध: ट्यान्टालम कार्बाइडको अत्यधिक उच्च कठोरता छ, र CVD TaC कोटिंगले सब्सट्रेटको पहिरन प्रतिरोधलाई उल्लेखनीय रूपमा सुधार गर्न सक्छ। यसले कोटिंगलाई उच्च पहिरन वातावरणमा अनुप्रयोगहरूको लागि आदर्श बनाउँछ, जस्तै काट्ने उपकरण र मोल्डहरू।

उच्च तापमान स्थिरता: TaC कोटिंग्सले 2200°C सम्मको तापक्रममा महत्वपूर्ण फर्नेस र रिएक्टर कम्पोनेन्टहरूलाई सुरक्षित राख्छ, राम्रो स्थिरता देखाउँछ। यसले चरम तापमान अवस्थाहरूमा रासायनिक र मेकानिकल स्थिरता कायम राख्छ, यसलाई उच्च-तापमान प्रशोधन र उच्च-तापमान वातावरणमा अनुप्रयोगहरूको लागि उपयुक्त बनाउँछ।

उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता: ट्यान्टालम कार्बाइडसँग धेरैजसो एसिड र क्षारहरूमा कडा जंग प्रतिरोध छ, र CVD TaC कोटिंगले प्रभावकारी रूपमा संक्षारक वातावरणमा सब्सट्रेटलाई हुने क्षतिलाई रोक्न सक्छ।

उच्च पिघलने बिन्दु: ट्यान्टलम कार्बाइडको उच्च पग्लने बिन्दु (लगभग 3880 डिग्री सेल्सियस) छ, जसले CVD TaC कोटिंगलाई चरम उच्च तापक्रम अवस्थाहरूमा पग्लिन वा अपमानजनक बिना प्रयोग गर्न अनुमति दिन्छ।

उत्कृष्ट थर्मल चालकता: TaC कोटिंगमा उच्च थर्मल चालकता छ, जसले प्रभावकारी रूपमा उच्च-तापमान प्रक्रियाहरूमा गर्मी फैलाउन र स्थानीय ओभरहेटिंग रोक्न मद्दत गर्दछ।

सम्भावित अनुप्रयोगहरू:

• ग्यालियम नाइट्राइड (GaN) र सिलिकन कार्बाइड एपिटेक्सियल CVD रिएक्टर कम्पोनेन्टहरू जसमा वेफर क्यारियरहरू, स्याटेलाइट डिशहरू, शावरहेडहरू, छतहरू र ससेप्टरहरू समावेश छन्।

• सिलिकन कार्बाइड, ग्यालियम नाइट्राइड र एल्युमिनियम नाइट्राइड (AlN) क्रुसिबल, सीड होल्डर, गाइड रिङ र फिल्टरहरू सहित क्रिस्टल वृद्धि घटकहरू

• प्रतिरोधी तताउने तत्वहरू, इन्जेक्सन नोजलहरू, मास्किङ रिङहरू र ब्रेजिङ जिगहरू सहित औद्योगिक कम्पोनेन्टहरू

आवेदन सुविधाहरू:

• तापमान 2000 डिग्री सेल्सियस भन्दा माथि स्थिर, चरम तापक्रममा सञ्चालन गर्न अनुमति दिन्छ
• हाइड्रोजन (Hz), अमोनिया (NH3), मोनोसिलेन (SiH4) र सिलिकन (Si) को प्रतिरोधी, कठोर रासायनिक वातावरणमा सुरक्षा प्रदान गर्दछ
• यसको थर्मल झटका प्रतिरोधले छिटो सञ्चालन चक्रलाई सक्षम बनाउँछ
• ग्रेफाइटमा बलियो आसंजन हुन्छ, जसले लामो सेवा जीवन सुनिश्चित गर्दछ र कोटिंग डिलेमिनेशन छैन।
• अनावश्यक अशुद्धता वा प्रदूषकहरू हटाउन अल्ट्रा-उच्च शुद्धता
• तंग आयामी सहिष्णुतामा कन्फर्मल कोटिंग कभरेज

प्राविधिक विनिर्देशहरू:

CVD द्वारा घने ट्यान्टालम कार्बाइड कोटिंग्स को तयारी: