Epitaxy उपकरणको लागि ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) लेपित ससेप्टर

छोटो विवरण:

ग्रेफाइट एक उत्कृष्ट उच्च-तापमान सामग्री हो, तर यो उच्च तापमानमा सजिलै अक्सिडाइज हुन्छ। निष्क्रिय ग्यास भएको भ्याकुम भट्टीहरूमा पनि, यसले अझै पनि ढिलो अक्सीकरणबाट गुज्रन सक्छ। CVD ट्यान्टलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग प्रयोग गरेर ग्रेफाइट सब्सट्रेटलाई प्रभावकारी रूपमा सुरक्षित गर्न सक्छ, ग्रेफाइट जस्तै उच्च-तापमान प्रतिरोध प्रदान गर्दछ। TaC पनि एक अक्रिय सामग्री हो, यसको मतलब यो उच्च तापमानमा आर्गन वा हाइड्रोजन जस्ता ग्यासहरूसँग प्रतिक्रिया गर्दैन।इन्क्वायरी ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) Epitaxy उपकरणको लागि लेपित ससेप्टर अहिले!

 


उत्पादन विवरण

उत्पादन ट्यागहरू

सेमिसेराले विभिन्न कम्पोनेन्टहरू र क्यारियरहरूको लागि विशेष ट्यान्टलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स प्रदान गर्दछ।सेमिसेरा अग्रणी कोटिंग प्रक्रियाले उच्च शुद्धता, उच्च तापक्रम स्थिरता र उच्च रासायनिक सहिष्णुता प्राप्त गर्न, SIC/GAN क्रिस्टल र EPI तहहरूको उत्पादन गुणस्तर सुधार गर्न ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स सक्षम गर्दछ।ग्रेफाइट लेपित TaC ससेप्टर), र प्रमुख रिएक्टर घटकहरूको जीवन विस्तार। ट्यान्टालम कार्बाइड टीएसी कोटिंगको प्रयोग किनारा समस्या समाधान गर्न र क्रिस्टल वृद्धिको गुणस्तर सुधार गर्न हो, र सेमिसेराले ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग टेक्नोलोजी (CVD) लाई अन्तर्राष्ट्रिय उन्नत स्तरमा पुग्न सफलता हासिल गरेको छ।

 

वर्षौंको विकास पछि, सेमिसेराले टेक्नोलोजीलाई जितेको छCVD TaCअनुसन्धान र विकास विभागको संयुक्त प्रयासमा। SiC वेफर्सको वृद्धि प्रक्रियामा दोषहरू देखा पर्न सजिलो हुन्छ, तर प्रयोग पछिTaC, भिन्नता महत्त्वपूर्ण छ। तल TaC संग र बिना वेफर्स को तुलना छ, साथै एकल क्रिस्टल वृद्धि को लागी Simicera' भागहरु।

微信图片_20240227150045

TaC संग र बिना

微信图片_20240227150053

TaC प्रयोग गरेपछि (दायाँ)

यसबाहेक, सेमिसेराकोTaC लेपित उत्पादनहरूको तुलनामा एक लामो सेवा जीवन र अधिक उच्च-तापमान प्रतिरोध प्रदर्शनSiC कोटिंग्स.प्रयोगशाला मापनले देखाएको छ कि हाम्रोTaC कोटिंग्सविस्तारित अवधिको लागि 2300 डिग्री सेल्सियस सम्मको तापक्रममा लगातार प्रदर्शन गर्न सक्छ। तल हाम्रा नमूनाहरूको केही उदाहरणहरू छन्:

 
०(१)
सेमिसेरा काम गर्ने ठाउँ
सेमिसेरा कार्यस्थल २
उपकरण मेसिन
सेमिसेरा वेयर हाउस
CNN प्रशोधन, रासायनिक सफाई, CVD कोटिंग
हाम्रो सेवा

  • अघिल्लो:
  • अर्को: