उत्पादन अवलोकन
दसिलिकन-इम्प्रेग्नेटेड सिलिकन कार्बाइड (SiC) प्याडल र वेफर क्यारियरअर्धचालक थर्मल प्रशोधन अनुप्रयोगहरूको माग आवश्यकताहरू पूरा गर्न इन्जिनियर गरिएको छ। उच्च-शुद्धता SiC बाट बनाइएको र सिलिकन गर्भाधान मार्फत परिष्कृत, यो उत्पादनले उच्च-तापमान कार्यसम्पादन, उत्कृष्ट थर्मल चालकता, जंग प्रतिरोध, र उत्कृष्ट मेकानिकल बलको अद्वितीय संयोजन प्रदान गर्दछ।
परिशुद्धता निर्माणको साथ उन्नत भौतिक विज्ञानलाई एकीकृत गरेर, यो समाधानले अर्धचालक निर्माताहरूको लागि उच्च प्रदर्शन, विश्वसनीयता, र स्थायित्व सुनिश्चित गर्दछ।
मुख्य विशेषताहरु
१.असाधारण उच्च-तापमान प्रतिरोध
2700 डिग्री सेल्सियस भन्दा बढि पिघलने बिन्दुको साथ, SiC सामग्रीहरू चरम गर्मीमा स्वाभाविक रूपमा स्थिर हुन्छन्। सिलिकन गर्भाधानले तिनीहरूको थर्मल स्थिरतालाई अझ बढाउँछ, तिनीहरूलाई संरचनात्मक कमजोरी वा प्रदर्शन गिरावट बिना उच्च तापमानमा लामो समयसम्म जोखिमको सामना गर्न अनुमति दिन्छ।
२.सुपीरियर थर्मल चालकता
सिलिकन-इम्प्रेग्नेटेड SiC को असाधारण थर्मल चालकताले समान ताप वितरण सुनिश्चित गर्दछ, महत्वपूर्ण प्रशोधन चरणहरूमा थर्मल तनाव कम गर्दछ। यो सम्पत्तिले उपकरणको आयु लम्ब्याउँछ र उत्पादन डाउनटाइमलाई कम गर्छ, यसलाई उच्च-तापमान थर्मल प्रशोधनको लागि आदर्श बनाउँछ।
३.ओक्सीकरण र जंग प्रतिरोध
एक बलियो सिलिकन अक्साइड तह प्राकृतिक रूपमा सतहमा बनाउँछ, अक्सीकरण र जंगको लागि उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदान गर्दछ। यसले कठोर अपरेटिङ वातावरणमा दीर्घकालीन विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्दछ, दुबै सामग्री र वरपरका कम्पोनेन्टहरूको सुरक्षा गर्दछ।
४।उच्च मेकानिकल शक्ति र पहिरन प्रतिरोध
सिलिकन-इम्प्रेग्नेटेड SiC ले उत्कृष्ट कम्प्रेसिभ बल र पहिरन प्रतिरोध सुविधा दिन्छ, उच्च-भार, उच्च-तापमान अवस्थाहरूमा यसको संरचनात्मक अखण्डता कायम राख्छ। यसले पहिरन-सम्बन्धित क्षतिको जोखिम कम गर्छ, विस्तारित उपयोग चक्रहरूमा लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित गर्दछ।
निर्दिष्टीकरणहरू
उत्पादनको नाम | SC-RSiC-Si |
सामग्री | सिलिकन गर्भाधान सिलिकन कार्बाइड कम्प्याक्ट (उच्च शुद्धता) |
अनुप्रयोगहरू | अर्धचालक ताप उपचार पार्ट्स, सेमीकन्डक्टर उत्पादन उपकरण पार्ट्स |
वितरण फारम | मोल्डेड बडी (सिंटर्ड बडी) |
रचना | मेकानिकल सम्पत्ति | युवा मोडलस (GPa) | झुकाउने शक्ति (MPa) | ||
रचना (भोल%) | α-SiC | α-SiC | RT | ३७० | २५० |
82 | 18 | ८०० डिग्री सेल्सियस | ३६० | 220 | |
बल्क घनत्व (kg/m³) | ३.०२ x १०3 | 1200°C | ३४० | 220 | |
ताप प्रतिरोधी तापमान डिग्री सेल्सियस | १३५० | पोइसन अनुपात | ०.१८ (RT) | ||
थर्मल सम्पत्ति | थर्मल चालकता (W/(m· K)) | विशिष्ट ताप क्षमता (kJ/(kg·K)) | थर्मल विस्तार को गुणांक (१/के) | ||
RT | 220 | ०.७ | RT~700°C | ३.४ x १०-6 | |
७०० डिग्री सेल्सियस | 60 | १.२३ | 700~1200°C | ४.३ x१०-6 |
अशुद्धता सामग्री (ppm) | |||||||||||||
तत्व | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
सामग्री दर | 3 | <2 | <०.५ | <०.१ | <1 | 5 | ०.३ | <०.१ | <०.१ | <०.१ | <०.३ | <०.३ | 25 |
अनुप्रयोगहरू
▪अर्धचालक थर्मल प्रशोधन:रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD), एपिटेक्सियल वृद्धि, र annealing जस्ता प्रक्रियाहरूको लागि आदर्श, जहाँ सटीक तापमान नियन्त्रण र सामग्री स्थायित्व महत्वपूर्ण छ।
▪वेफर क्यारियर र प्याडल:उच्च-तापमान थर्मल उपचारको समयमा वेफरहरू सुरक्षित रूपमा समात्न र ढुवानी गर्न डिजाइन गरिएको।
▪चरम परिचालन वातावरण: गर्मी, रासायनिक एक्सपोजर, र मेकानिकल तनाव प्रतिरोध आवश्यक सेटिङहरूको लागि उपयुक्त।
Silicon-Impregnated SiC को फाइदाहरू
उच्च शुद्धता सिलिकन कार्बाइड र उन्नत सिलिकन गर्भाधान प्रविधिको संयोजनले अतुलनीय कार्यसम्पादन लाभहरू प्रदान गर्दछ:
▪परिशुद्धता:अर्धचालक प्रशोधनको शुद्धता र नियन्त्रण बढाउँछ।
▪स्थिरता:कार्यक्षमतामा सम्झौता नगरी कठोर वातावरणको सामना गर्दछ।
▪दीर्घायु:अर्धचालक निर्माण उपकरणको सेवा जीवन विस्तार गर्दछ।
▪दक्षता:विश्वसनीय र लगातार परिणामहरू सुनिश्चित गरेर उत्पादकता सुधार गर्दछ।
किन हाम्रो सिलिकन-इम्प्रेग्नेटेड SiC समाधानहरू छनौट गर्नुहोस्?
At सेमिसेरा, हामी सेमीकन्डक्टर निर्माताहरूको आवश्यकता अनुरूप उच्च प्रदर्शन समाधानहरू प्रदान गर्नमा विशेषज्ञ छौं। हाम्रो सिलिकन-इम्प्रेग्नेटेड सिलिकन कार्बाइड प्याडल र वेफर क्यारियरले उद्योग मापदण्डहरू पूरा गर्नको लागि कठोर परीक्षण र गुणस्तर आश्वासनबाट गुज्रिन्छ। सेमिसेरा छनोट गरेर, तपाइँ तपाइँको उत्पादन प्रक्रियाहरु लाई अनुकूलन गर्न र तपाइँको उत्पादन क्षमताहरु लाई बृद्धि गर्न डिजाइन गरिएको अत्याधुनिक सामग्रीहरु मा पहुँच प्राप्त गर्नुहुन्छ।
प्राविधिक विनिर्देशहरू
▪सामग्री संरचना:सिलिकन गर्भाधान संग उच्च शुद्धता सिलिकन कार्बाइड।
▪सञ्चालन तापमान दायरा:2700 डिग्री सेल्सियस सम्म।
▪ थर्मल चालकता:समान गर्मी वितरणको लागि असाधारण रूपमा उच्च।
▪प्रतिरोध गुण:ओक्सीकरण, जंग, र पहिरन प्रतिरोधी।
▪आवेदनहरू:विभिन्न अर्धचालक थर्मल प्रशोधन प्रणाली संग उपयुक्त।
हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्
आफ्नो अर्धचालक निर्माण प्रक्रिया माथि उठाउन तयार हुनुहुन्छ? सम्पर्क गर्नुहोस्सेमिसेराआज हाम्रो सिलिकन-इम्प्रेग्नेटेड सिलिकन कार्बाइड प्याडल र वेफर क्यारियर बारे थप जान्नको लागि।
▪इमेल: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪फोन: +८६-०५७४-८६५० ३७८३
▪स्थान:No.1958 Jiangnan रोड, Ningbo हाई टेक, जोन, Zhejiang प्रान्त, 315201, चीन