सिलिकन कार्बाइड कोटिंग वेफर क्यारियरको साथ ग्रेफाइट ससेप्टर

CVD-SiC कोटिंगमा समान संरचना, कम्प्याक्ट सामग्री, उच्च तापक्रम प्रतिरोध, अक्सीकरण प्रतिरोध, उच्च शुद्धता, एसिड र क्षार प्रतिरोध र जैविक अभिकर्मक, स्थिर भौतिक र रासायनिक गुणहरूको विशेषताहरू छन्।
उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट सामग्रीको तुलनामा, ग्रेफाइटले 400C मा अक्सिडाइज गर्न थाल्छ, जसले अक्सीकरणको कारण पाउडरको क्षति निम्त्याउँछ, परिधीय उपकरणहरू र भ्याकुम चेम्बरहरूमा वातावरणीय प्रदूषणको कारण, र उच्च-शुद्धता वातावरणको अशुद्धता बढाउँछ।
यद्यपि, SiC कोटिंगले 1600 डिग्रीमा भौतिक र रासायनिक स्थिरता कायम राख्न सक्छ, यो आधुनिक उद्योगमा विशेष गरी सेमीकन्डक्टर उद्योगमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।