वेफर क्यारियर को परिचय
उत्पादन क्याटागोरी
▶PECVD र TALOX प्रक्रियाको लागि वेफर क्यारियर प्रणाली
• PECVD र TALOX ग्रेफाइट डुङ्गा (M4~M12)
• ठाडो SM-बोट (M4, M6)
• इम्प्लान्ट र नुहाउने ग्रेफाइट भाग (M4~M6)
• C/C ट्रे र सिरेमिक कोटिंग
• धातु RIE-ट्रे र सिरेमिक कोटिंग
भ्याकुम सील: O-Ring र SQ-Ring
▶बनावट र भिजेको नक्काशी स्थानान्तरण प्रक्रिया
• LSC H-क्यारियर वा क्यासेट (M4~M12)
• LSC V-क्यारियर वा क्यासेट (M4~M12)
• ASC वाहक वा क्यासेट (M4, M6)
• W/F क्यारियर र भण्डारण बक्स (M4~M12)
• यातायात व्हील (रोलर) श्रृंखला
▶सौर्य सेल वाहक र धातु वाहक
• TRC वाहक वा क्यासेट (M4~M12)
• पत्रिका (BELT सँग)
ग्रेफाइट डुङ्गा (H-प्रकार)
19P6-216CT (WF M4~M12)
ग्रेफाइट डुङ्गा (H-प्रकार)
21P6-240CT WF M4~M12)
ग्रेफाइट डुङ्गा (H-प्रकार)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
ग्रेफाइट डुङ्गा (H-प्रकार)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
ग्रेफाइट डुङ्गा (H-प्रकार)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF क्यारियर र भण्डारण बक्स (~M12)
C/C ट्रे वा वाहक (M4~M10)
C/C ट्रे वा वाहक (M4~M10)
ठाडो डुङ्गा (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC वाहक (~M6)
TRC वाहक (~M12)
TRC वाहक (~M12)
ग्रेफाइट-बोट(M12)
PECVD प्रक्रियाको लागि वेफर क्यारियर प्रणाली
▶ ग्रेफाइट डुङ्गा (CT-डिजाइन गरिएको) M10/M12 प्रक्रिया
• विशेष डिजाइन अवधारणा
▶ ग्रेफाइट डुङ्गा (CT-डिजाइन गरिएको) M4/M6 प्रक्रिया
▶ डुङ्गा सहायक पार्ट्स
▶ ठाडो डुङ्गा-१६१.७ एमएम वेफर
▶ ठाडो डुङ्गा-१६६ मिमी वेफर
▶ ठाडो डुङ्गा-१६१.७मिमी, १६६मिमी वेफर
सौर्य सेल वाहक र धातु TRC वाहक
TYPE: स्वचालन
वेफर साइज : ① १५६ × १५६ मिमी ② १५६.७५ × १५६.७५ मिमी
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
प्रयोग : बोक्ने (क्यासेट)
क्षमता: 100 पाना
पिच: 4.76mm/5.953mm/6.35mm
आयाम: लगभग 559×220×220MM
लगभग 712×260×260MM
लाभ: वायुमण्डल
सामग्री: ज्वाला, साइड बार-एल्युमिनियम (एनोडाइजिंग)
साइड प्लेट-पोम (एन्टिस्टेटिक)
तल्लो पट्टीको आवरण-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-मेटल क्यारियर (U'SER LINE)
TRC-मेटल क्यारियर (U'SER LINE)
TRC-मेटल क्यारियर (U'SER LINE)
शावर प्लेट र प्रत्यारोपण, क्यारियर
