रोलिङले सिलिकन एकल क्रिस्टल रडको बाहिरी व्यासलाई डायमण्ड ग्राइन्डिङ ह्वील प्रयोग गरेर आवश्यक व्यासको एकल क्रिस्टल रडमा पीस्ने प्रक्रियालाई बुझाउँछ, र एकल क्रिस्टल रडको समतल किनारा सन्दर्भ सतह वा पोजिशनिङ ग्रोभलाई पीस्ने प्रक्रियालाई बुझाउँछ।
एकल क्रिस्टल फर्नेसद्वारा तयार गरिएको एकल क्रिस्टल रडको बाहिरी व्यास सतह चिल्लो र समतल हुँदैन, र यसको व्यास अन्तिम अनुप्रयोगमा प्रयोग गरिएको सिलिकन वेफरको व्यास भन्दा ठूलो हुन्छ। आवश्यक रड व्यास बाहिरी व्यास रोलिंग द्वारा प्राप्त गर्न सकिन्छ।
रोलिङ मिलमा सिलिकन सिंगल क्रिस्टल रडको समतल किनारा सन्दर्भ सतह वा पोजिशनिङ ग्रूभलाई ग्राइन्ड गर्ने कार्य हुन्छ, अर्थात् आवश्यक व्यासको एकल क्रिस्टल रडमा दिशात्मक परीक्षण गर्ने। एउटै रोलिङ मिल उपकरणमा, समतल किनारा सन्दर्भ सतह वा एकल क्रिस्टल रडको स्थिति ग्रोभ जमीन छ। सामान्यतया, 200mm भन्दा कम व्यास भएको एकल क्रिस्टल रडहरूले समतल किनारा सन्दर्भ सतहहरू र 200mm वा माथिको व्यास भएको एकल क्रिस्टल रडहरू पोजिसनिङ ग्रूभहरू प्रयोग गर्छन्। 200mm को व्यास भएको एकल क्रिस्टल रडहरू पनि आवश्यक अनुसार समतल किनारा सन्दर्भ सतहहरूसँग बनाउन सकिन्छ। एकल क्रिस्टल रड अभिमुखीकरण सन्दर्भ सतह को उद्देश्य एकीकृत सर्किट निर्माण मा प्रक्रिया उपकरण को स्वचालित स्थिति संचालन को आवश्यकताहरु लाई पूरा गर्न को लागी छ; क्रिस्टल अभिविन्यास र सिलिकन वेफर, आदि को चालकता प्रकार संकेत गर्न को लागी, उत्पादन व्यवस्थापन को सुविधा को लागी; मुख्य पोजिशनिङ एज वा पोजिसनिङ ग्रूभ <110> दिशामा लम्ब हुन्छ। चिप प्याकेजिङ प्रक्रियाको बखत, डाइसिङ प्रक्रियाले वेफरको प्राकृतिक क्लीभेज हुन सक्छ, र स्थितिले टुक्राहरूको उत्पादनलाई पनि रोक्न सक्छ।
राउन्डिङ प्रक्रियाका मुख्य उद्देश्यहरू समावेश छन्: सतहको गुणस्तर सुधार गर्दै: राउन्डिङले सिलिकन वेफर्सको सतहमा रहेको burrs र असमानता हटाउन सक्छ र सिलिकन वेफर्सको सतहको चिल्लोपन सुधार गर्न सक्छ, जुन पछिल्लो फोटोलिथोग्राफी र नक्कली प्रक्रियाहरूको लागि धेरै महत्त्वपूर्ण छ। तनाव कम गर्दै: सिलिकन वेफर्सको काट्ने र प्रशोधन गर्दा तनाव उत्पन्न हुन सक्छ। राउन्डिङले यी तनावहरूलाई रिलिज गर्न र सिलिकन वेफरहरूलाई पछिका प्रक्रियाहरूमा तोड्नबाट रोक्न मद्दत गर्न सक्छ। सिलिकन वेफर्सको मेकानिकल बल सुधार गर्दै: राउन्डिङ प्रक्रियाको बखत, सिलिकन वेफर्सको किनाराहरू चिल्लो हुनेछन्, जसले सिलिकन वेफर्सको मेकानिकल बल सुधार गर्न र यातायात र प्रयोगको समयमा क्षति कम गर्न मद्दत गर्दछ। आयामी शुद्धता सुनिश्चित गर्दै: राउन्डिङ गरेर, सिलिकन वेफर्सको आयामी शुद्धता सुनिश्चित गर्न सकिन्छ, जुन अर्धचालक उपकरणहरूको निर्माणको लागि महत्त्वपूर्ण छ। सिलिकन वेफर्सको विद्युतीय गुणहरू सुधार गर्दै: सिलिकन वेफर्सको किनारा प्रशोधनले तिनीहरूको विद्युतीय गुणहरूमा महत्त्वपूर्ण प्रभाव पार्छ। राउन्डिङले सिलिकन वेफर्सको विद्युतीय गुणहरू सुधार गर्न सक्छ, जस्तै चुहावट घटाउने। सौन्दर्यशास्त्र: सिलिकन वेफर्सका किनारहरू राउन्डिङ पछि चिल्लो र अझ सुन्दर हुन्छन्, जुन निश्चित अनुप्रयोग परिदृश्यहरूको लागि पनि आवश्यक छ।
पोस्ट समय: जुलाई-30-2024