देखिक्रूसिबलकन्टेनरको रूपमा प्रयोग गरिन्छ र त्यहाँ भित्र संवहन हुन्छ, उत्पन्न भएको एकल क्रिस्टलको आकार बढ्दै जाँदा, तातो संवहन र तापक्रम ग्रेडियन्ट एकरूपता नियन्त्रण गर्न गाह्रो हुन्छ। लोरेन्ट्ज बलमा प्रवाहकीय पिघल कार्य गर्न चुम्बकीय क्षेत्र थपेर, उच्च गुणस्तरको एकल क्रिस्टल सिलिकन उत्पादन गर्न संवहनलाई ढिलो गर्न वा हटाउन सकिन्छ।
चुम्बकीय क्षेत्र को प्रकार अनुसार, यो तेर्सो चुम्बकीय क्षेत्र, ठाडो चुम्बकीय क्षेत्र र CUSP चुम्बकीय क्षेत्र मा विभाजित गर्न सकिन्छ:
ठाडो चुम्बकीय क्षेत्र संरचनात्मक कारणले गर्दा मुख्य संवहन हटाउन सक्दैन र विरलै प्रयोग गरिन्छ।
तेर्सो चुम्बकीय क्षेत्रको चुम्बकीय क्षेत्र कम्पोनेन्टको दिशा मुख्य ताप संवहन र क्रूसिबल पर्खालको आंशिक जबरजस्ती संवहनमा लम्ब हुन्छ, जसले गतिलाई प्रभावकारी रूपमा रोक्न सक्छ, विकास इन्टरफेसको समतलता कायम राख्न सक्छ, र वृद्धि स्ट्रिपहरू कम गर्न सक्छ।
CUSP चुम्बकीय क्षेत्र यसको सममितिको कारणले अधिक समान प्रवाह र पिघलको गर्मी स्थानान्तरण छ, त्यसैले ठाडो र CUSP चुम्बकीय क्षेत्रहरूमा अनुसन्धान हातमा हातमा गइरहेको छ।
चीनमा, सियान युनिभर्सिटी अफ टेक्नोलोजीले पहिले चुम्बकीय क्षेत्रहरू प्रयोग गरेर सिलिकन एकल क्रिस्टलको उत्पादन र क्रिस्टल तान्न प्रयोगहरू महसुस गरेको छ। यसको मुख्य उत्पादनहरू 6-8in लोकप्रिय प्रकारहरू हुन्, जुन सौर्य फोटोभोल्टिक सेलहरूको लागि सिलिकन वेफर बजारमा लक्षित छन्। संयुक्त राज्यमा KAYEX र जर्मनीमा CGS जस्ता विदेशी देशहरूमा, तिनीहरूका मुख्य उत्पादनहरू 8-16in छन्, जुन अल्ट्रा-लार्ज-स्केल इन्टिग्रेटेड सर्किटहरू र अर्धचालकहरूको स्तरमा एकल क्रिस्टल सिलिकन रडहरूका लागि उपयुक्त छन्। तिनीहरूसँग ठूलो-व्यास उच्च-गुणवत्ता एकल क्रिस्टलको विकासको लागि चुम्बकीय क्षेत्रको क्षेत्रमा एकाधिकार छ र सबैभन्दा प्रतिनिधि हो।
एकल क्रिस्टल वृद्धि प्रणालीको क्रूसिबल क्षेत्रमा चुम्बकीय क्षेत्र वितरण चुम्बकको सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण भाग हो, क्रूसिबलको किनारमा चुम्बकीय क्षेत्रको बल र एकरूपता सहित, क्रूसिबलको केन्द्र, र उपयुक्त। तरल सतह तल दूरी। समग्र तेर्सो र एकसमान ट्रान्सभर्स चुम्बकीय क्षेत्र, बलको चुम्बकीय रेखाहरू क्रिस्टल वृद्धि अक्षमा लम्ब हुन्छन्। चुम्बकीय प्रभाव र एम्पियरको नियम अनुसार, कुण्डल क्रुसिबलको छेउमा सबैभन्दा नजिक छ र क्षेत्र बल सबैभन्दा ठूलो छ। दूरी बढ्दै जाँदा, हावाको चुम्बकीय प्रतिरोध बढ्दै जान्छ, क्षेत्र बल बिस्तारै घट्दै जान्छ, र यो केन्द्रमा सबैभन्दा सानो हुन्छ।
सुपरकन्डक्टिङ चुम्बकीय क्षेत्र को भूमिका
थर्मल संवहन रोक्न: बाह्य चुम्बकीय क्षेत्रको अनुपस्थितिमा, पग्लिएको सिलिकनले तताउने क्रममा प्राकृतिक संवहन उत्पादन गर्दछ, जसले अशुद्धताको असमान वितरण र क्रिस्टल दोषहरूको गठन हुन सक्छ। बाह्य चुम्बकीय क्षेत्रले यस संवहनलाई दबाउन सक्छ, पग्लिएको भित्रको तापक्रम वितरणलाई थप एकसमान बनाउन र अशुद्धताको असमान वितरणलाई कम गर्न सक्छ।
क्रिस्टल वृद्धि दर नियन्त्रण: चुम्बकीय क्षेत्रले क्रिस्टल वृद्धिको दर र दिशालाई असर गर्न सक्छ। चुम्बकीय क्षेत्रको शक्ति र वितरणलाई ठीकसँग नियन्त्रण गरेर, क्रिस्टल वृद्धि प्रक्रियालाई अनुकूलित गर्न सकिन्छ र क्रिस्टलको अखण्डता र एकरूपता सुधार गर्न सकिन्छ। एकल क्रिस्टल सिलिकनको बृद्धिको क्रममा, अक्सिजन मुख्यतया पिघल र क्रूसिबलको सापेक्षिक आन्दोलन मार्फत सिलिकन पग्लिन्छ। चुम्बकीय क्षेत्रले सिलिकन पग्लिएको संवहनलाई कम गरेर अक्सिजनलाई सम्पर्क गर्ने सम्भावनालाई कम गर्छ, जसले गर्दा अक्सिजनको विघटन कम हुन्छ। केहि अवस्थामा, बाह्य चुम्बकीय क्षेत्रले पिघलको थर्मोडायनामिक अवस्थाहरू परिवर्तन गर्न सक्छ, जस्तै पिघलको सतह तनाव परिवर्तन गरेर, जसले अक्सिजनको अस्थिरतालाई मद्दत गर्न सक्छ, जसले गर्दा पग्लिएको अक्सिजन सामग्री कम हुन्छ।
अक्सिजन र अन्य अशुद्धताको विघटन कम गर्नुहोस्: सिलिकन क्रिस्टलको वृद्धिमा अक्सिजन सामान्य अशुद्धताहरू मध्ये एक हो, जसले क्रिस्टलको गुणस्तर बिग्रन्छ। चुम्बकीय क्षेत्रले पग्लिएको अक्सिजन सामग्रीलाई कम गर्न सक्छ, जसले गर्दा क्रिस्टलमा अक्सिजनको विघटन कम हुन्छ र क्रिस्टलको शुद्धतामा सुधार हुन्छ।
क्रिस्टलको आन्तरिक संरचना सुधार गर्नुहोस्: चुम्बकीय क्षेत्रले क्रिस्टल भित्रको दोष संरचनालाई असर गर्न सक्छ, जस्तै विस्थापन र अन्न सीमाहरू। यी दोषहरूको संख्या घटाएर र तिनीहरूको वितरणलाई असर गरेर, क्रिस्टलको समग्र गुणस्तर सुधार गर्न सकिन्छ।
क्रिस्टलको विद्युतीय गुणहरू सुधार गर्दै: चुम्बकीय क्षेत्रहरूले क्रिस्टलको वृद्धिको समयमा माइक्रोस्ट्रक्चरमा महत्त्वपूर्ण प्रभाव पारेको हुनाले, तिनीहरूले क्रिस्टलको विद्युतीय गुणहरू सुधार गर्न सक्छन्, जस्तै प्रतिरोधात्मकता र क्यारियर जीवनकाल, जुन उच्च-प्रदर्शन अर्धचालक उपकरणहरू निर्माणको लागि महत्त्वपूर्ण छ।
थप छलफलको लागि हामीलाई भ्रमण गर्न संसारभरका कुनै पनि ग्राहकहरूलाई स्वागत छ!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
पोस्ट समय: जुलाई-24-2024