दMOCVDमेथड हाल उद्योगमा उच्च गुणस्तरको एकल क्रिस्टलीय पातलो फिल्महरू, जस्तै सिंगल फेज InGaN एपिलेयरहरू, III-N सामग्रीहरू, र बहु क्वान्टम वेल संरचनाहरू भएका अर्धचालक फिल्महरू बढाउन उद्योगमा प्रयोग हुने सबैभन्दा स्थिर प्रक्रियाहरू मध्ये एक हो, र यसको ठूलो महत्त्व छ। अर्धचालक र अप्टोइलेक्ट्रोनिक उपकरणहरूको निर्माण।
दSiC कोटिंग MOCVD ससेप्टरको लागि सिलिकन कार्बाइड (SiC) लेपित एक विशेष वेफर होल्डर होepitaxial धातु जैविक रासायनिक वाष्प निक्षेप (MOCVD) प्रक्रियामा वृद्धि।
SiC कोटिंगमा उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध र थर्मल स्थिरता छ, यसले epitaxial वृद्धि प्रक्रियाहरूको माग गर्न प्रयोग हुने MOCVD ससेप्टरहरूको लागि एक आदर्श विकल्प बनाउँछ।
MOCVD प्रक्रियाको एक प्रमुख घटक ससेप्टर हो, जुन उत्पादित पातलो फिल्महरूको एकरूपता र गुणस्तर सुनिश्चित गर्न एक प्रमुख तत्व हो।
एक susceptor के हो? ससेप्टर एक विशेष कम्पोनेन्ट हो जुन MOCVD प्रक्रियामा सब्सट्रेटलाई समर्थन गर्न र तताउन प्रयोग गरिन्छ जसमा पातलो फिल्म जम्मा हुन्छ। यसमा विद्युत चुम्बकीय ऊर्जा अवशोषित गर्ने, यसलाई तातोमा रूपान्तरण गर्ने, र सब्सट्रेटमा समान रूपमा तातो वितरण गर्ने जस्ता धेरै कार्यहरू छन्। सटीक मोटाई र संरचनाको साथ एकसमान पातलो फिल्महरूको वृद्धिको लागि यो समान ताप आवश्यक छ।
susceptors को प्रकार:
1. ग्रेफाइट ससेप्टरहरू: ग्रेफाइट ससेप्टरहरू प्रायः सुरक्षात्मक तहले लेपित हुन्छन् जस्तैसिलिकन कार्बाइड (SiC), जुन यसको उच्च थर्मल चालकता र स्थिरता को लागी परिचित छ। दSiC कोटिंगकडा, सुरक्षात्मक सतह प्रदान गर्दछ जसले उच्च तापमानमा क्षरण र क्षरणको प्रतिरोध गर्दछ।
2. सिलिकन कार्बाइड (SiC) ससेप्टरहरू: यी ससेप्टरहरू पूर्ण रूपमा SiC बाट बनेका छन् र उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता र पहिरन प्रतिरोध छ। SiC ससेप्टरहरू विशेष गरी उच्च-तापमान प्रक्रियाहरू र संक्षारक वातावरणहरूको लागि उपयुक्त छन्।
MOCVD मा ससेप्टर्सले कसरी काम गर्छ:
MOCVD प्रक्रियामा, अग्रदूतहरूलाई प्रतिक्रिया कक्षमा प्रस्तुत गरिन्छ जहाँ तिनीहरू सड्छन् र सब्सट्रेटमा पातलो फिल्म बनाउन प्रतिक्रिया गर्छन्। ससेप्टरले सब्सट्रेट समान रूपमा तताइएको सुनिश्चित गरेर महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ, जुन सम्पूर्ण सब्सट्रेट सतहमा लगातार फिल्म गुणहरू प्राप्त गर्न महत्त्वपूर्ण छ। ससेप्टरको सामग्री र डिजाइन सावधानीपूर्वक भण्डारण प्रक्रियाको विशिष्ट आवश्यकताहरू पूरा गर्न चयन गरिन्छ, जस्तै तापमान दायरा र रासायनिक अनुकूलता।
उच्च-गुणवत्ता ससेप्टरहरू प्रयोग गर्ने फाइदाहरू:
• परिष्कृत फिल्म गुणस्तर: समान ताप वितरण प्रदान गरेर, ससेप्टरले लगातार मोटाई र संरचनाको साथ फिल्महरू प्राप्त गर्न मद्दत गर्दछ, जुन सेमीकन्डक्टर उपकरणहरूको प्रदर्शनको लागि महत्त्वपूर्ण छ।
• सुधारिएको प्रक्रिया दक्षता: उच्च-गुणस्तरको ससेप्टरहरूले त्रुटिहरूको सम्भावना घटाएर र प्रयोगयोग्य फिल्महरूको उत्पादन बढाएर MOCVD प्रक्रियाको समग्र दक्षता बढाउँछन्।
• आयु र विश्वसनीयता: SiC जस्ता टिकाउ सामग्रीबाट बनेका ससेप्टरहरूले दीर्घकालीन विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्छन् र मर्मत लागत घटाउँछन्।
ससेप्टर MOCVD प्रक्रियाको अभिन्न अंग हो र यसले पातलो फिल्म निक्षेपको गुणस्तर र दक्षतालाई प्रत्यक्ष असर गर्छ। उपलब्ध आकारहरू, MOCVD ससेप्टरहरू र मूल्यहरूमा थप जानकारीको लागि, कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्न नहिचकिचाउनुहोस्। हाम्रा इन्जिनियरहरू तपाईंलाई उपयुक्त सामग्रीहरूमा सल्लाह दिन र तपाईंको सबै प्रश्नहरूको जवाफ दिन खुसी हुनेछन्।
फोन: +८६-१३३७३८८९६८३
व्हाट्सएप: +८६-१५९५७८७८१३४
Email: sales01@semi-cera.com
पोस्ट समय: अगस्ट-12-2024