CVD SiC के हो
रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) उच्च शुद्धता ठोस पदार्थहरू उत्पादन गर्न प्रयोग गरिने भ्याकुम डिपोजिसन प्रक्रिया हो। यो प्रक्रिया अक्सर वेफर्स को सतह मा पातलो फिल्म बनाउन अर्धचालक निर्माण क्षेत्र मा प्रयोग गरिन्छ। CVD द्वारा SiC तयार गर्ने प्रक्रियामा, सब्सट्रेट एक वा बढी अस्थिर पूर्ववर्तीहरूको सम्पर्कमा आउँछ, जसले सब्सट्रेटको सतहमा रासायनिक रूपमा प्रतिक्रिया गर्दछ इच्छित SiC निक्षेप जम्मा गर्न। SiC सामग्रीहरू तयार गर्नका लागि धेरै विधिहरू मध्ये, रासायनिक वाष्प निक्षेप द्वारा तयार गरिएका उत्पादनहरूमा उच्च एकरूपता र शुद्धता छ, र विधिसँग बलियो प्रक्रिया नियन्त्रण क्षमता छ।
CVD SiC सामग्रीहरू अर्धचालक उद्योगमा प्रयोगको लागि धेरै उपयुक्त छन् जसलाई उत्कृष्ट थर्मल, विद्युतीय र रासायनिक गुणहरूको अद्वितीय संयोजनको कारण उच्च-प्रदर्शन सामग्रीहरू आवश्यक पर्दछ। CVD SiC कम्पोनेन्टहरू एचिंग उपकरण, MOCVD उपकरण, Si epitaxial उपकरण र SiC epitaxial उपकरण, द्रुत थर्मल प्रशोधन उपकरण र अन्य क्षेत्रहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।
समग्रमा, CVD SiC कम्पोनेन्टहरूको सबैभन्दा ठूलो बजार खण्ड उपकरण कम्पोनेन्टहरू नक्काशी गर्ने हो। यसको कम प्रतिक्रियाशीलता र क्लोरीन- र फ्लोरिन युक्त नक्काशी ग्यासहरूको चालकताको कारण, CVD सिलिकन कार्बाइड प्लाज्मा नक्काशी उपकरणहरूमा फोकस रिंगहरू जस्ता घटकहरूको लागि एक आदर्श सामग्री हो।
नक्कली उपकरणहरूमा CVD सिलिकन कार्बाइड कम्पोनेन्टहरूमा फोकस रिङ्हरू, ग्यास शावर हेडहरू, ट्रेहरू, किनाराहरू, इत्यादि समावेश हुन्छन्। फोकस रिङलाई उदाहरणको रूपमा लिने, फोकस रिङ वेफरको बाहिर र सीधै वेफरसँग सम्पर्कमा राखिएको महत्त्वपूर्ण कम्पोनेन्ट हो। घण्टीबाट गुज्रिरहेको प्लाज्मालाई फोकस गर्न रिंगमा भोल्टेज लागू गरेर, प्लाज्मा प्रक्रियाको एकरूपता सुधार गर्न वेफरमा केन्द्रित हुन्छ।
परम्परागत फोकस रिंगहरू सिलिकन वा क्वार्ट्जबाट बनेका हुन्छन्। एकीकृत सर्किट लघुकरणको प्रगतिको साथ, एकीकृत सर्किट निर्माणमा नक्काशी प्रक्रियाहरूको माग र महत्त्व बढ्दै गएको छ, र एचिंग प्लाज्माको शक्ति र ऊर्जा बढ्दै गएको छ। विशेष गरी, क्यापेसिटिवली कम्पल्ड (सीसीपी) प्लाज्मा नक्काशी उपकरणहरूमा आवश्यक प्लाज्मा ऊर्जा बढी छ, त्यसैले सिलिकन कार्बाइड सामग्रीबाट बनेको फोकस रिंगहरूको प्रयोग दर बढ्दै गएको छ। CVD सिलिकन कार्बाइड फोकस रिंग को योजनाबद्ध रेखाचित्र तल देखाइएको छ:
पोस्ट समय: जुन-20-2024