सेमीकन्डक्टर फिल्डमा सिलिकन कार्बाइड सिरेमिकको आवेदन

अर्धचालक:

अर्धचालक उद्योगले "प्रविधिको एक पुस्ता, प्रक्रियाको एक पुस्ता, र उपकरणको एक पुस्ता" को औद्योगिक कानून पछ्याउँछ, र सेमीकन्डक्टर उपकरणहरूको अपग्रेड र पुनरावृत्ति धेरै हदसम्म सटीक भागहरूको प्राविधिक सफलतामा निर्भर गर्दछ। ती मध्ये, सटीक सिरेमिक भागहरू सबैभन्दा प्रतिनिधि सेमीकन्डक्टर परिशुद्धता पार्ट्स सामग्री हुन्, जसमा रासायनिक वाष्प निक्षेप, भौतिक वाष्प निक्षेप, आयन प्रत्यारोपण, र नक्काशी जस्ता प्रमुख अर्धचालक निर्माण लिङ्कहरूको श्रृंखलामा महत्त्वपूर्ण अनुप्रयोगहरू छन्। जस्तै बियरिङहरू, गाइड रेलहरू, लाइनिङहरू, इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू, मेकानिकल ह्यान्डलिंग हतियारहरू, इत्यादि। विशेष गरी उपकरण गुहा भित्र, यसले समर्थन, सुरक्षा, र डाइभर्सनको भूमिका खेल्छ।

2023 देखि, नेदरल्याण्ड र जापानले पनि क्रमिक रूपमा नयाँ नियमहरू वा नियन्त्रणमा विदेशी व्यापार आदेशहरू जारी गरेका छन्, लिथोग्राफी मेसिनहरू सहित अर्धचालक उपकरणहरूको लागि निर्यात इजाजतपत्र नियमहरू थप्दै, र अर्धचालक विरोधी विश्वव्यापीकरणको प्रवृत्ति बिस्तारै देखा परेको छ। आपूर्ति श्रृंखलाको स्वतन्त्र नियन्त्रणको महत्त्व बढ्दो रूपमा प्रमुख भएको छ। अर्धचालक उपकरण पार्ट्सको स्थानीयकरणको मागको सामना गर्दै, स्वदेशी कम्पनीहरूले सक्रिय रूपमा औद्योगिक विकासलाई बढावा दिइरहेका छन्। Zhongci इलेक्ट्रोनिक्सले घरेलु अर्धचालक उपकरण उद्योगको "अड्चन" समस्या समाधान गर्दै ताप प्लेट र इलेक्ट्रोस्ट्याटिक चक जस्ता उच्च-टेक सटीक भागहरूको स्थानीयकरण महसुस गरेको छ; Dezhi नयाँ सामग्री, SiC लेपित ग्रेफाइट आधार र SiC नक्काशी रिंग को एक प्रमुख घरेलू आपूर्तिकर्ता, सफलतापूर्वक 100 मिलियन युआन, आदि को वित्त पोषण पूरा गरेको छ।
उच्च चालकता सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिक सब्सट्रेट:

सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिक सब्सट्रेटहरू मुख्यतया पावर एकाइहरू, सेमीकन्डक्टर उपकरणहरू र शुद्ध विद्युतीय सवारी साधनहरू (EVs) र हाइब्रिड विद्युतीय सवारीहरू (HEVs) को इन्भर्टरहरूमा प्रयोग गरिन्छ, र विशाल बजार सम्भावना र अनुप्रयोग सम्भावनाहरू छन्।

हाल, व्यावसायिक अनुप्रयोगहरूको लागि उच्च थर्मल चालकता सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिक सब्सट्रेट सामग्रीहरूलाई थर्मल चालकता ≥85 W/(m·K), झुकाउने शक्ति ≥650MPa, र फ्र्याक्चर कठोरता 5~7MPa·m1/2 आवश्यक छ। उच्च थर्मल चालकता सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिक सब्सट्रेटहरू ठूलो मात्रामा उत्पादन गर्ने क्षमता भएका कम्पनीहरू मुख्यतया तोशिबा समूह, हिताची मेटल्स, जापान इलेक्ट्रिक केमिकल, जापान मारुवा र जापान फाइन सिरामिक्स हुन्।

सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिक सब्सट्रेट सामग्रीमा घरेलु अनुसन्धानले पनि केही प्रगति गरेको छ। सिनोमा हाई-टेक नाइट्राइड सिरामिक्स कं, लिमिटेडको बेइजिङ शाखाको टेप-कास्टिङ प्रक्रियाद्वारा तयार गरिएको सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिक सब्सट्रेटको थर्मल चालकता १०० W/(m·K); बेइजिङ सिनोमा आर्टिफिशियल क्रिस्टल रिसर्च इन्स्टिच्युट कं, लिमिटेडले 700-800MPa को झुकाउने बल, फ्र्याक्चर टफनेस ≥8MPa·m1/2, र थर्मल चालकता ≥80W/(m·K) को एक सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिक सब्सट्रेट सफलतापूर्वक तयार गरेको छ। sintering विधि र प्रक्रिया अनुकूलन गरेर।