Isostatic PECVD ग्रेफाइट डुङ्गा

Isostatic PECVD ग्रेफाइट बोट चित्रित छवि

छोटो विवरण:

Isostatic PECVD ग्रेफाइट डुङ्गा व्यापक रूपमा अर्धचालक निर्माणको विभिन्न लिङ्कहरूमा प्रयोग गरिन्छ, जस्तै polysilicon फिल्म डिपोजिसन, अक्साइड फिल्म डिपोजिसन, नाइट्राइड फिल्म डिपोजिसन, आदि। यसको उत्कृष्ट प्रदर्शनले PECVD प्रक्रियामा यसलाई एक आदर्श वेफर वाहक बनाउँछ।

हामीलाई इमेल पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

उत्पादन ट्यागहरू

SEMICERA isostatic PECVD ग्रेफाइट डुङ्गा एक उच्च-शुद्धता, उच्च-घनत्व ग्रेफाइट उत्पादन हो जुन PECVD (प्लाज्मा एन्हान्स्ड रासायनिक वाष्प निक्षेप) प्रक्रियामा वेफर समर्थनको लागि डिजाइन गरिएको हो। SEMICERA ले ग्रेफाइट डुङ्गामा उत्कृष्ट उच्च तापक्रम प्रतिरोध, क्षरण प्रतिरोध, आयामी स्थिरता र राम्रो थर्मल चालकता छ, जुन अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा अपरिहार्य उपभोग्य छ भनेर सुनिश्चित गर्न उन्नत आइसोस्टेटिक प्रेसिङ प्रविधि प्रयोग गर्दछ।

SEMICERA isostatic PECVD ग्रेफाइट डुङ्गाका निम्न फाइदाहरू छन्:

▪ उच्च शुद्धता: ग्रेफाइट सामग्री उच्च शुद्धता र कम अशुद्धता सामग्रीको वेफर सतहको प्रदूषणबाट बच्नको लागि हो।

▪ उच्च घनत्व: उच्च घनत्व, उच्च मेकानिकल बल, उच्च तापक्रम र उच्च भ्याकुम वातावरण सामना गर्न सक्छ।

▪ राम्रो आयामी स्थिरता: प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित गर्न उच्च तापक्रममा सानो आयामी परिवर्तन।

▪ उत्कृष्ट थर्मल चालकता: प्रभावकारी रूपमा वेफर ओभर तताउन रोक्नको लागि तातो स्थानान्तरण गर्नुहोस्।

▪ बलियो क्षरण प्रतिरोध: विभिन्न संक्षारक ग्याँस र प्लाज्मा द्वारा क्षरण प्रतिरोध गर्न सक्षम।

प्रदर्शन प्यारामिटर	सेमिसेरा	SGL R6510	प्रदर्शन प्यारामिटर
बल्क घनत्व (g/cm3)	१.९१	१.८३	१.८५
झुकाउने शक्ति (MPa)	63	60	49
कम्प्रेसिभ शक्ति (MPa)	१३५	130	१०३
किनारा कठोरता (HS)	70	64	60
थर्मल विस्तार को गुणांक (10-6/K)	85	१०५	130
थर्मल विस्तार को गुणांक (10-6/K)	५.८५	४.२	५.०
प्रतिरोधात्मकता (μΩm)	११-१३	13	10

हामीलाई छनौट गर्ने फाइदाहरू:
▪ सामग्री चयन: उत्पादनको गुणस्तर सुनिश्चित गर्न उच्च शुद्धता ग्रेफाइट सामग्रीहरू प्रयोग गरिन्छ।
▪ प्रशोधन प्रविधि: उत्पादनको घनत्व र एकरूपता सुनिश्चित गर्न आइसोस्टेटिक प्रेसिङ प्रयोग गरिन्छ।
▪ साइज अनुकूलन: विभिन्न आकार र आकारका ग्रेफाइट डुङ्गाहरू ग्राहकको आवश्यकता अनुसार अनुकूलित गर्न सकिन्छ।
▪ सतह उपचार: विभिन्न प्रक्रिया आवश्यकताहरू पूरा गर्न कोटिंग सिलिकन कार्बाइड, बोरोन नाइट्राइड, आदि जस्ता विभिन्न सतह उपचार विधिहरू प्रदान गरिन्छ।