CVD SiC कोटिंग

सिलिकन कार्बाइड कोटिंग को परिचय 

हाम्रो रासायनिक भाप डिपोजिसन (CVD) सिलिकन कार्बाइड (SiC) कोटिंग एक उच्च टिकाऊ र पहिरन-प्रतिरोधी तह हो, उच्च जंग र थर्मल प्रतिरोधको माग गर्ने वातावरणको लागि आदर्श।सिलिकन कार्बाइड कोटिंगCVD प्रक्रिया मार्फत विभिन्न सब्सट्रेटहरूमा पातलो तहहरूमा लागू गरिन्छ, उच्च प्रदर्शन विशेषताहरू प्रदान गर्दै।

मुख्य विशेषताहरु

       ● - असाधारण शुद्धता: को एक अल्ट्रा-शुद्ध रचना घमण्ड गर्दै९९.९९९९५%, हाम्रोSiC कोटिंगसंवेदनशील अर्धचालक अपरेसनहरूमा प्रदूषण जोखिमहरू कम गर्दछ।

●-सुपीरियर प्रतिरोध: पहिरन र जंग दुवैको लागि उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदर्शन गर्दछ, यसलाई चुनौतीपूर्ण रासायनिक र प्लाज्मा सेटिङहरूको लागि उत्तम बनाउँछ।
● -उच्च थर्मल चालकता: यसको उत्कृष्ट थर्मल गुणहरूको कारण चरम तापमान अन्तर्गत विश्वसनीय प्रदर्शन सुनिश्चित गर्दछ।
● -आयामिक स्थिरता: यसको कम थर्मल विस्तार गुणांकको लागि धन्यवाद, तापमानको विस्तृत दायरामा संरचनात्मक अखण्डता कायम राख्छ।
● - परिष्कृत कठोरता: को कठोरता मूल्याङ्कन संग40 GPa, हाम्रो SiC कोटिंगले महत्त्वपूर्ण प्रभाव र घर्षणको सामना गर्दछ।
● - चिकनी सतह समाप्त: मिरर-जस्तो फिनिश प्रदान गर्दछ, कण उत्पादन घटाउँछ र परिचालन दक्षता बढाउँछ।

अनुप्रयोगहरू

सेमिसेरा SiC कोटिंग्सअर्धचालक निर्माणका विभिन्न चरणहरूमा प्रयोग गरिन्छ, जसमा:

● -एलईडी चिप निर्माण
● -Polysilicon उत्पादन
● -अर्धचालक क्रिस्टल वृद्धि
● -सिलिकन र SiC Epitaxy
● -थर्मल अक्सीकरण र प्रसार (TO&D)

हामी उच्च-शक्तिको आइसोस्टेटिक ग्रेफाइट, कार्बन फाइबर-प्रबलित कार्बन र 4N पुनःक्रिस्टलाइज्ड सिलिकन कार्बाइडबाट बनाइएको SiC-कोटेड कम्पोनेन्टहरू आपूर्ति गर्छौं, तरलतायुक्त-बेड रिएक्टरहरूको लागि तयार पारिएको,STC-TCS कन्भर्टरहरू, CZ एकाइ रिफ्लेक्टरहरू, SiC वेफर बोट, SiCwafer प्याडल, SiC वेफर ट्यूब, र PECVD, सिलिकन एपिटेक्सी, MOCVD प्रक्रियाहरूमा प्रयोग हुने वेफर क्यारियरहरू.

फाइदाहरू

● - विस्तारित आयु: समग्र उत्पादन दक्षता बृद्धि गर्दै, उपकरण डाउनटाइम र मर्मत लागतलाई उल्लेखनीय रूपमा घटाउँछ।
● - सुधारिएको गुणस्तर: अर्धचालक प्रशोधनका लागि आवश्यक उच्च शुद्धता सतहहरू प्राप्त गर्दछ, यसरी उत्पादनको गुणस्तर बढाउँछ।
● - बढेको दक्षता: थर्मल र CVD प्रक्रियाहरूलाई अप्टिमाइज गर्छ, परिणामस्वरूप छोटो चक्र समय र उच्च उपज।

प्राविधिक विनिर्देशहरू     

● - संरचना: FCC β चरण polycrystaline, मुख्यतया (111) उन्मुख
● -घनत्व: 3.21 ग्राम/सेमी³
●-कठोरता: 2500 Vickes कठोरता (500 ग्राम लोड)
● - फ्र्याक्चर कठोरता: 3.0 MPa·m^१/२
● -थर्मल विस्तार गुणांक (100–600 °C): ४.३ x १०^-6k^-1
● -इलास्टिक मोडुलस(1300 ℃):४३५ GPa
● -विशिष्ट फिल्म मोटाई:100 µm
●-सतहको खरोपन:२-१० µm

शुद्धता डाटा (ग्लो डिस्चार्ज मास स्पेक्ट्रोस्कोपी द्वारा मापन)