विभिन्न अर्धचालक प्रक्रियाहरूमा वेफर्सको स्थानान्तरणको लागि सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक प्रभावकर्ता

विशेषता र फाइदाहरू

1. सटीक आयाम र थर्मल स्थिरता

2. उच्च विशिष्ट कठोरता र उत्कृष्ट थर्मल एकरूपता, दीर्घकालीन प्रयोग विरूपण मोड्न सजिलो छैन;

3. यसमा चिल्लो सतह र राम्रो पहिरन प्रतिरोध छ, यसैले कण प्रदूषण बिना चिपलाई सुरक्षित रूपमा ह्यान्डल गर्न।

4. 106-108Ω मा सिलिकन कार्बाइड प्रतिरोधकता, गैर-चुम्बकीय, विरोधी ESD विशिष्टता आवश्यकताहरु संग लाइन मा; यसले चिपको सतहमा स्थिर बिजुली जम्मा हुनबाट रोक्न सक्छ

5. राम्रो थर्मल चालकता, कम विस्तार गुणांक।