सेमिसेराको 2~6 इन्च 4° अफ-एंगल P-प्रकार 4H-SiC सब्सट्रेटहरू उच्च-सम्पादन शक्ति र RF उपकरण निर्माताहरूको बढ्दो आवश्यकताहरू पूरा गर्न इन्जिनियर गरिएको छ। 4° अफ-एंगल अभिमुखीकरणले अनुकूलित एपिटेक्सियल वृद्धि सुनिश्चित गर्दछ, यस सब्सट्रेटलाई MOSFETs, IGBTs, र डायोडहरू सहित अर्धचालक यन्त्रहरूको दायराको लागि एक आदर्श आधार बनाउँछ।
यो 2~6 इन्च 4° अफ-एंगल P-प्रकार 4H-SiC सब्सट्रेटमा उच्च थर्मल चालकता, उत्कृष्ट विद्युतीय प्रदर्शन, र उत्कृष्ट मेकानिकल स्थिरता सहित उत्कृष्ट भौतिक गुणहरू छन्। अफ-एंगल अभिमुखीकरणले माइक्रोपाइप घनत्व कम गर्न मद्दत गर्दछ र चिकनी एपिटेक्सियल तहहरूलाई बढावा दिन्छ, जुन अन्तिम अर्धचालक उपकरणको प्रदर्शन र विश्वसनीयता सुधार गर्न महत्त्वपूर्ण छ।
सेमिसेराको 2~6 इन्च 4° अफ-एंगल P-प्रकार 4H-SiC सब्सट्रेटहरू विभिन्न उत्पादन आवश्यकताहरू पूरा गर्न 2 इन्चदेखि 6 इन्चसम्मका विभिन्न व्यासहरूमा उपलब्ध छन्। हाम्रा सब्सट्रेटहरू एकसमान डोपिङ स्तरहरू र उच्च-गुणस्तरको सतह विशेषताहरू प्रदान गर्न सटीक रूपमा इन्जिनियर गरिएको छ, प्रत्येक वेफरले उन्नत इलेक्ट्रोनिक अनुप्रयोगहरूको लागि आवश्यक कडा विनिर्देशहरू पूरा गर्दछ भन्ने सुनिश्चित गर्दै।
नवाचार र गुणस्तरप्रति सेमिसेराको प्रतिबद्धताले हाम्रो 2 ~ 6 इन्च 4° अफ-एंगल P-type 4H-SiC सब्सट्रेटहरूले पावर इलेक्ट्रोनिक्सदेखि उच्च-फ्रिक्वेन्सी उपकरणहरूमा अनुप्रयोगहरूको विस्तृत दायरामा लगातार प्रदर्शन प्रदान गर्ने कुरा सुनिश्चित गर्दछ। यस उत्पादनले ऊर्जा-कुशल, उच्च-प्रदर्शन अर्धचालकहरूको अर्को पुस्ताको लागि भरपर्दो समाधान प्रदान गर्दछ, अटोमोटिभ, दूरसञ्चार, र नवीकरणीय ऊर्जा जस्ता उद्योगहरूमा प्राविधिक विकासहरूलाई समर्थन गर्दछ।
आकार-सम्बन्धित मानकहरू
साइज | २ इन्च | ४ इन्च |
व्यास | ५०.८ मिमी±०.३८ मिमी | १००.० मिमी+०/-०.५ मिमी |
सतह अभिमुखीकरण | 4° तर्फ<11-20>±0.5° | 4° तर्फ<11-20>±0.5° |
प्राथमिक समतल लम्बाइ | 16.0 मिमी ± 1.5 मिमी | 32.5mm±2mm |
माध्यमिक समतल लम्बाइ | 8.0 मिमी ± 1.5 मिमी | 18.0 मिमी ± 2 मिमी |
प्राथमिक समतल अभिमुखीकरण | समानान्तर <11-20>±5.0° | समानान्तर<11-20>±5.0c |
माध्यमिक समतल अभिमुखीकरण | प्राथमिक ± 5.0° बाट 90°CW, सिलिकन फेस अप | प्राथमिक ± 5.0° बाट 90°CW, सिलिकन फेस अप |
सतह समाप्त | सी-फेस: अप्टिकल पोलिश, सी-फेस: सीएमपी | C-Face: OpticalPolish, Si-Face: CMP |
वेफर किनारा | बेभलिंग | बेभलिंग |
सतहको नरमपन | Si-Face Ra<0.2 nm | Si-Face Ra<0.2nm |
मोटाई | 350.0±25.0um | 350.0±25.0um |
पोलिटाइप | 4H | 4H |
डोपिङ | p-प्रकार | p-प्रकार |
आकार-सम्बन्धित मानकहरू
साइज | ६ इन्च |
व्यास | १५०.० मिमी+०/-०.२ मिमी |
सतह अभिमुखीकरण | 4° तर्फ<11-20>±0.5° |
प्राथमिक समतल लम्बाइ | ४७.५ मिमी ± १.५ मिमी |
माध्यमिक समतल लम्बाइ | कुनै पनि छैन |
प्राथमिक समतल अभिमुखीकरण | <11-20> ±5.0° को समानान्तर |
माध्यमिक फ्ल्याट अभिमुखीकरण | प्राथमिक ± 5.0° बाट 90°CW, सिलिकन फेस अप |
सतह समाप्त | सी-फेस: अप्टिकल पोलिश, सी-फेस: सीएमपी |
वेफर किनारा | बेभलिंग |
सतहको नरमपन | Si-Face Ra<0.2 nm |
मोटाई | 350.0±25.0μm |
पोलिटाइप | 4H |
डोपिङ | p-प्रकार |