सेमिसेराको10x10mm Nonpolar M-प्लेन एल्युमिनियम सब्सट्रेटसावधानीपूर्वक उन्नत अप्टोइलेक्ट्रोनिक अनुप्रयोगहरूको सटीक आवश्यकताहरू पूरा गर्न डिजाइन गरिएको हो। यो सब्सट्रेटले गैर-ध्रुवीय M-प्लेन अभिमुखीकरण सुविधा दिन्छ, जुन LEDs र लेजर डायोडहरू जस्ता उपकरणहरूमा ध्रुवीकरण प्रभावहरू कम गर्नको लागि महत्त्वपूर्ण छ, जसले कार्यसम्पादन र दक्षतालाई बढावा दिन्छ।
द10x10mm Nonpolar M-प्लेन एल्युमिनियम सब्सट्रेटन्यूनतम दोष घनत्व र उच्च संरचनात्मक अखण्डता सुनिश्चित गर्दै, असाधारण क्रिस्टलीय गुणस्तरको साथ बनाइएको छ। यसले यसलाई उच्च-गुणस्तर III-नाइट्राइड फिल्महरूको एपिटेक्सियल वृद्धिको लागि एक आदर्श विकल्प बनाउँछ, जुन अर्को पुस्ताको अप्टोइलेक्ट्रोनिक उपकरणहरूको विकासको लागि आवश्यक छ।
सेमिसेराको सटीक इन्जिनियरिङले प्रत्येकलाई सुनिश्चित गर्दछ10x10mm Nonpolar M-प्लेन एल्युमिनियम सब्सट्रेटलगातार मोटाई र सतह समतलता प्रदान गर्दछ, जुन एकसमान फिल्म जम्मा र उपकरण निर्माण को लागी महत्वपूर्ण छ। थप रूपमा, सब्सट्रेटको कम्प्याक्ट आकारले यसलाई अनुसन्धान र उत्पादन वातावरण दुबैको लागि उपयुक्त बनाउँदछ, विभिन्न अनुप्रयोगहरूमा लचिलो प्रयोगको लागि अनुमति दिँदै। यसको उत्कृष्ट थर्मल र रासायनिक स्थिरता संग, यो सब्सट्रेट अत्याधुनिक ओप्टोइलेक्ट्रोनिक टेक्नोलोजी को विकास को लागी एक भरपर्दो आधार प्रदान गर्दछ।
| वस्तुहरू | उत्पादन | अनुसन्धान | डमी |
| क्रिस्टल प्यारामिटरहरू | |||
| पोलिटाइप | 4H | ||
| सतह अभिमुखीकरण त्रुटि | <11-20 > 4±0.15° | ||
| विद्युतीय मापदण्डहरू | |||
| डोपन्ट | n-प्रकार नाइट्रोजन | ||
| प्रतिरोधात्मकता | ०.०१५-०.०२५ओम·सेमी | ||
| मेकानिकल प्यारामिटरहरू | |||
| व्यास | 150.0±0.2mm | ||
| मोटाई | 350±25 μm | ||
| प्राथमिक समतल अभिमुखीकरण | [१-१००]±५° | ||
| प्राथमिक समतल लम्बाइ | ४७.५±१.५ मिमी | ||
| माध्यमिक फ्ल्याट | कुनै पनि छैन | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| धनुष | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ताना | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| अगाडि (सि-फेस) रफनेस (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| संरचना | |||
| माइक्रोपाइप घनत्व | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| धातु अशुद्धता | ≤5E10 परमाणु/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| अगाडि गुणस्तर | |||
| अगाडि | Si | ||
| सतह समाप्त | सि-फेस CMP | ||
| कणहरू | ≤60ea/वेफर (आकार≥0.3μm) | NA | |
| खरोंचहरू | ≤5ea/मिमी। संचयी लम्बाइ ≤व्यास | संचयी लम्बाइ≤2*व्यास | NA |
| सुन्तलाको बोक्रा/पिट्स/दाग/धारा/चरा/दूषित | कुनै पनि छैन | NA | |
| किनारा चिप्स/इन्डेन्टहरू/फ्र्याक्चर/हेक्स प्लेटहरू | कुनै पनि छैन | ||
| पोलिटाइप क्षेत्रहरू | कुनै पनि छैन | संचयी क्षेत्र≤20% | संचयी क्षेत्र≤30% |
| अगाडि लेजर मार्किंग | कुनै पनि छैन | ||
| पछाडि गुणस्तर | |||
| पछाडि समाप्त | C-अनुहार CMP | ||
| खरोंचहरू | ≤5ea/mm, संचयी लम्बाइ≤2*व्यास | NA | |
| पछाडिका दोषहरू (एज चिप्स/इन्डेन्टहरू) | कुनै पनि छैन | ||
| पछाडिको नरमपन | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| पछाडि लेजर मार्किंग | 1 मिमी (शीर्ष किनाराबाट) | ||
| किनारा | |||
| किनारा | च्याम्फर | ||
| प्याकेजिङ | |||
| प्याकेजिङ | भ्याकुम प्याकेजिङ संग Epi-तयार बहु-वेफर क्यासेट प्याकेजिङ | ||
| *नोटहरू: "NA" भनेको कुनै अनुरोध नगरिएको वस्तुहरूले SEMI-STD लाई सन्दर्भ गर्न सक्छ। | |||
